1、化合物制造，化肥、氨、硝酸等化合物的制造；2、惰性保护，惰性保护介质，速冻食品；3、制冷剂，低温粉碎等的制冷剂、冷却剂；4、电子工业，电子工业中的外延、扩散、化学气相淀积、离子注入、等离子干刻、光刻等；5、标准物，用作标准气、校正气、零点气、平衡气等。...